| 发明名称 |
Apparatus and method for compensated sensor output |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2405700(A) |
申请公布日期 |
2005.03.09 |
| 申请号 |
GB20040027629 |
申请日期 |
2003.06.11 |
| 申请人 |
* MKS INSTRUMENTS INC |
发明人 |
STEPHEN F * HORNE;PHILIP J * MAIORANA;SANTHI E * MATTHEW;LEONID * MINDLIN;CLAUDIA * QUIGLEY;DONALD K * SMITH;ERIC R * TARANTO |
| 分类号 |
G01F15/02;G01D3/02;G01D3/028;G01D18/00;G01L19/04;(IPC1-7):G06F13/14 |
主分类号 |
G01F15/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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