| 发明名称 |
METHODS FOR TREATING SEMICONDUCTOR WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0989962(A4) |
申请公布日期 |
2005.03.09 |
| 申请号 |
EP19980929046 |
申请日期 |
1998.06.12 |
| 申请人 |
MATTSON TECHNOLOGY IP, INC. |
发明人 |
VERHAVERBEKE, STEVEN |
| 分类号 |
C03C15/00;C03C23/00;C11D7/06;C11D7/10;C11D11/00;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/311;(IPC1-7):C03C23/00;H01L21/00 |
主分类号 |
C03C15/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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