Método rápido e indireto de medida de espessuras de filmes poliméricos - que não possuem elementos que absorvam raios x - utilizando espectrometria de fluorescência de raios x de energia dispersiva (edxrf)

摘要

"MéTODO RáPIDO E INDIRETO DE MEDIDA DE ESPESSURAS DE FILMES POLIMéRICOS - QUE NãO POSSUEM ELEMENTOS QUE ABSORVAM RAIOS X - UTILIZANDO ESPECTROMETRIA DE FLUORESCêNCIA DE RAIOS X DE ENERGIA DISPERSIVA (EDXRF)". Patente de Invenção que descreve o desenvolvimento de um método rápido e indireto de medida de espessuras de filmes poliméricos utilizando Espectrometria de Fluorescência de Raios X. No método são utilizados anteparos metálicos sob os filmes e é medida a atenuação da linha de emissão do elemento deste anteparo. Após introdução destes valores de atenuação em uma equação de calibração previamente obtida para aquele filme, é determinado a sua espessura real. Os anteparos metálicos utilizados foram de chumbo, cobre e alumínio. As medidas mostraram que o método é rápido, sendo estas realizadas em 100 segundos durante o processo de irradiação. Os valores encontrados de coeficientes de correlação das curvas analíticas obtidas mostraram que a técnica é promissora (R chegando até 1). Os limites de detecção alcançados (LD variando de 0,043 a 4,04 <109>m) mostraram valores aplicáveis para amostras reais, principalmente aquelas com interesse industrial.