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发明名称 Interferenz-Dickenmessung duenner Schichten
摘要
申请公布号 DE2001666(A1) 申请公布日期 1970.07.23
申请号 DE19702001666 申请日期 1970.01.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 ROBERT FAY,JOHN;PHILLIP STINSON,JOHN
分类号 G01B11/06;G01N21/45 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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