在无掩罩微影系统中使用多重空间光调变器以产生灰阶之系统及方法

摘要

一种无光罩微影系统及方法，在物体上产生灰阶图型。系统包含照射光源(举例而言，脉冲或有效连续的)、包含曝光区阵列之物体、空间光调变器阵列(举例而言，数位的、二进位的、或是类比的)、及控制器。空间光调变器阵列会将来自照射光源的光图型化及导引至物体。每一空间光调变器具有分别对应于物体上的一曝光区之主动区。控制器会控制空间光调变器阵列，以致于光的图型具有空间变化强度。