涂布成膜装置及涂布成膜方法

摘要

本发明之涂布成膜装置包含有用以固持晶圆之基板固持部、涂布液喷嘴、及与晶圆表面对向之乾燥防止板。前述涂布液系由基板固持部相对涂布液喷嘴相对地移动而由晶圆之表面之前端缘朝后端缘供给。其中，前述乾燥防止板位于距离晶圆表面2mm以内之高度位置，以于前述晶圆表面与乾燥防止板之间形成浓度高之溶剂环境气体。