用于判定制程系统中基材交换位置的方法与设备

摘要

兹提供一种用于判定一制程系统中一基材之交换位置的方法与设备。于一实施例中，系提供一种于一制程系统中判定一基材之交换位置的方法，该方法包括判定一制程处理室内一初始交换位置，及辨析于该交换位置之改变。该辨析步骤更可包括感应一交换处理室(其具有与之相接的制程处理室)之一面的温度改变、感应该系统状态的改变或感应该制程处理室之位置改变。