正型光阻组成物及使用其形成图型之方法

摘要

本发明之正型光阻组成物系含有，因酸之作用使硷可溶性增大之树脂成分(A)与，因曝光使酸产生之酸产生剂成分(B)与，有机溶剂(C)(A)成分具有，(i)含酸解离性溶解抑制基(甲基)丙烯酸酯所衍生构成单元(a1)，(ii)含有比构成单元(a1)所含前述酸解离性溶解抑制基解离更难之酸解离性溶解抑制基(甲基)丙烯酸酯所衍生构成单元(a2)，及(iii)含有内酯官能基，由(甲基)丙烯酸酯所衍生构成单元(a3)者。093118853-p01.bmp