发明名称 气体感测器及其制造方法
摘要 一种气体感测器及其制造方法。上述气体感测器包括一基板;一对电极,位于该基板上;以及一气体感测薄膜,覆盖于该电极上,上述气体感测薄膜系由奈米碳管以及氧化锡所组成。
申请公布号 TW200508601 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW092123548 申请日期 2003.08.27
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 魏碧玉;赖宏仁;苏平贵;吴仁彰;林鸿明;孙益陆
分类号 G01N27/00 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号