发明名称 | 气体感测器及其制造方法 | ||
摘要 | 一种气体感测器及其制造方法。上述气体感测器包括一基板;一对电极,位于该基板上;以及一气体感测薄膜,覆盖于该电极上,上述气体感测薄膜系由奈米碳管以及氧化锡所组成。 | ||
申请公布号 | TW200508601 | 申请公布日期 | 2005.03.01 |
申请号 | TW092123548 | 申请日期 | 2003.08.27 |
申请人 | 财团法人工业技术研究院 | 发明人 | 魏碧玉;赖宏仁;苏平贵;吴仁彰;林鸿明;孙益陆 |
分类号 | G01N27/00 | 主分类号 | G01N27/00 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | |||
地址 | 新竹县竹东镇中兴路4段195号 |