| 主权项 |
1.一种压电元件,包括:一压电膜,其夹在一下电极与一上电极之间,其中该下电极及/或该上电极以及该压电膜包括钙钛矿氧化物;该下电极及/或该上电极与该压电膜之间没有接触介面;而且该下电极及/或该上电极的晶体与该压电膜晶体混合区是在该下电极及/或该上电极与该压电膜之间。2.如申请专利范围第1项之压电元件,其中该混合区有钙钛矿构造。3.如申请专利范围第1项之压电元件,其中该下电极、该上电极与该压电膜包括以溶胶-凝胶法制造的钙钛矿氧化物。4.如申请专利范围第1项之压电元件,其中该下电极和该上电极通用方程式为M1RuO3(M1为从锶、钡、钙中选出至少其中一种)或Sr(1-x)M2(x)CoO3(M2为从镧、镨、钐、钕中选出至少其中一种;且0≦x<1),而该压电膜通用方程式为Pb(1-x)Lax(ZryTi1-y)O3中(方程式中0≦x<1,0≦y<1)。5.一种喷墨记录头,包括:一压力室,其与一墨水排放口连通;一振动板,其对应该压力室设置;以及一压电元件,其具有对应该振动板设置且夹在一下电极与一上电极之间的一压电膜,其中该压力室中的墨水因该压电元件引起的该压力室容积变化而从该墨水排放口排出,其中该下电极及/或该上电极以及该压电膜包括钙钛矿氧化物;且该下电极及/或该上电极与该压电膜之间没有接触介面;而且该下电极及/或该上电极的晶体与该压电膜晶体混合区是在该下电极及/或该上电极与该压电膜之间。6.一种制造具有夹在一下电极与一上电极之间的一压电膜的压电元件之方法,依序包括:提供一电极材料以在一基板上形成该下电极;将电极材料乾燥;提供一压电材料以在电极材料上形成该压电膜;将压电材料乾燥;以及将电极材料和压电材料烧结。7.如申请专利范围第6项之方法,其中在将电极材料乾燥步骤之后且在提供压电材料以在电极材料上形成该压电膜步骤之前,并未进行电极材料之烧结步骤。8.一种制造具有夹在一下电极与一上电极之间的一压电膜的压电元件之方法,依序包括:提供一压电材料以在下电极上形成该压电膜;将压电材料乾燥;提供一电极材料以在压电材料上形成该上电极;将电极材料乾燥;以及将电极材料和压电材料烧结。9.如申请专利范围第8项之方法,其中在将电极材料乾燥步骤之后且在提供电极材料以在压电材料上形成该上电极步骤之前,并未进行压电材料之烧结步骤。10.一种制造其中至少一电极和一压电膜层叠的一压电元件之方法,包括:提供由形成烧结前该电极的压电材料和形成烧结前该压电膜的压电材料所构成之层叠构造;以及将该层叠构造烧结。11.一种压电元件,其具有夹在一下电极与一上电极之间的一压电膜,其中该下电极及/或该上电极与该压电膜之间没有接触介面;而且该下电极及/或该上电极的晶体与该压电膜晶体混合区是在该下电极及/或该上电极与该压电膜之间。图式简单说明:图1为本发明的压电元件概示剖面图。图2为本发明的压电元件做为喷墨印刷头的概示剖面图。图3为用于实施例1至6以及比较例1和2的基板概示立体图。图4为用于实施例1至6以及比较例1和2的基板概示剖面图。图5为实施例1至6以及比较例1和2制造的压电元件概示剖面图。图6为用来评估喷墨记录头的头之概示剖面图。图7为用来评估喷墨记录头的头之概示立体图。图8为实施例1与比较例1之磁滞曲线图。 |
