| 发明名称 |
RESISTE MIT VERBESSERTER AUFLÖSUNGSINHIBIERUNG FÜR DIE MIKROLITHOGRAPHIE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE69822632(T2) |
申请公布日期 |
2005.02.17 |
| 申请号 |
DE1998622632T |
申请日期 |
1998.07.14 |
| 申请人 |
E.I. DU PONT DE NEMOURS AND CO., WILMINGTON |
发明人 |
REISER, ARNOST |
| 分类号 |
C08F212/14;C08G8/08;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/023 |
主分类号 |
C08F212/14 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
