热交换装置中形成通道之装置及方法

摘要

本案系揭露一种制造循环一冷却材料于热交换器中之装置之方法。该装置包含一支管层及介面层，该介面层包含一或多个窄沟道。该支管层包含复数个孔隙，每一配置在一窄沟道之一侧。在作业中，冷却材料传输至一孔隙，通过由窄沟道及支管层底表面定义之通道，及排出一孔隙，因此，可冷却耦合至介面层底表面之生热装置。该方法包含在介面层中形成一窄沟道，该沟道展现各向异性蚀刻，将介面层蚀刻以形成具有斜侧壁之一沟道。此方法尚包含耦合介面层至支管层。