发明名称 于积体电路技术中极均匀之矽化物
摘要 提供一种IC(integrated circuit)(100)之结构及其形成方法(900)。使闸极介电层(104)形成于半导体基板(102)上,再将闸极(106)形成于半导体基板(102)上之闸极介电层(104)上面。使源极/汲极接合层(504/506)形成于半导体基板(102)中。将极均匀之矽化物(604/608)形成于源极/汲极接合层(504/506)上,以及使介电层(702)沉积于半导体基板(102)之上面。接着再将接点(802/804/806)形成在该介电层(702)内且与极均匀之矽化物(604/606/608)接触。
申请公布号 TW200507178 申请公布日期 2005.02.16
申请号 TW093120312 申请日期 2004.07.07
申请人 高级微装置公司 发明人 秋 罗伯特;派顿;贝瑟;郭明凡
分类号 H01L21/822 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 美国