摘要 |
提供一种IC(integrated circuit)(100)之结构及其形成方法(900)。使闸极介电层(104)形成于半导体基板(102)上,再将闸极(106)形成于半导体基板(102)上之闸极介电层(104)上面。使源极/汲极接合层(504/506)形成于半导体基板(102)中。将极均匀之矽化物(604/608)形成于源极/汲极接合层(504/506)上,以及使介电层(702)沉积于半导体基板(102)之上面。接着再将接点(802/804/806)形成在该介电层(702)内且与极均匀之矽化物(604/606/608)接触。 |