用于形成多成份薄膜之系统及方法

摘要

本发明提供用于混合经汽化前驱体之系统与方法，如此使经汽化前驱体混合物于原子层沈积(ALD)法中之单次脉冲输送步骤期间共同存在，以形成多成份薄膜。该经汽化前驱体系由至少一种不同化学成份所组成，此等不同成份会形成单层以产生多成份薄膜。本发明另一实施样态中，提出具有组成梯度之介电薄膜。