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发明名称
具有修改容易之软体的自动测试系统
摘要
揭示一种诸如用来测试半导体装置之自动测试系统,充当制造之部分。其测试系统使用仪器来产生并且测量测试信号。自动测试系统具有硬体与软体结构,其允许仪器在制造之后附加于测试系统。离析其软体成为仪器特定规格与仪器非从属软体。当测试系统的实体实现改变或是仪器因为在系列产品中的测试器不同而改变,至软体组件的预定测试介面允许将仪器容易的整合至测试系统,并且容易重复使用软体。
申请公布号
TW200507144
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW093117010
申请日期
2004.06.14
申请人
泰瑞丹公司
发明人
史黛芬J 荷亚克;亚伦L 布利兹;雷都B 史缇森
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
林镒珠
主权项
地址
美国
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