| 摘要 |
本发明的课题是针对于在表面检查装置中，被检查面的照射域内的缺陷，成为可容易地识别复数的小缺陷，或是单一的大缺陷。本发明用以解决手段是一种表面检查装置，其特征为具备：出射雷射光L0的LD10，及对于晶圆200的被检查面210以所定俯角α入射所出射的雷射光L0的照射光学系20，及变位晶圆200使得雷射光L0螺旋状地扫描被检查面210的扫描手段30，及检测光强度的光强度检测手段50，及将从雷射光L0所入射的照射域220出射的散射光L2，导光至光强度检测手段50的散射光检测光学系40；光强度检测手段50是具备对于一维方向(Y轴方向)，将散射光L2分解成10个通道ch并予以检测的多阳极PMT51。 |
