测量烷芳香烃化合物之过氧化氢浓度之方法

摘要

本发明揭示一种测量制程流中烷芳香烃化合物之过氧化氢浓度之方法，该方法包括：将一探针浸入该制程流，其中该探针耦接至光谱仪；藉由光谱仪收集13,000cm^-1至4,000cm^-1波长处之吸收数据；并计算制程流中烷芳香烃化合物之过氧化氢之浓度。在另一实施例中，自制程流中取出样品，并光谱分析样品以测定样品中烷芳香烃化合物之过氧化氢之浓度。