利用超临界二氧化碳来清洁工作物件的系统和方法

摘要

根据本发明之超临界二氧化碳清洁系统可包括：压力室，经配置以利用超临界二氧化碳来清洁工作物件；膨胀室，经配置以接收压力室的输出；二氧化碳再循环系统，经配置以接收来自膨胀室的膨胀二氧化碳流，并经配置以输出再循环二氧化碳流；新鲜二氧化碳供应源，经配置以输出新鲜二氧化碳流；纯化系统，经配置以接收新鲜二氧化碳流及再循环二氧化碳流中之至少一者，并配置该纯化系统以输出经纯化的二氧化碳流；以及第一共溶剂供应源，经配置以输出第一共溶剂流，其中该压力室系经配置以接收经纯化的二氧化碳流与第一共溶剂流。