基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统

摘要

一种基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统，由光学成像和图像采集两部分组成，被测球栅阵列半导体器件放置在载物台上，两个CCD摄像机分别设置在光学显微镜的正上方和被测器件侧面，每一个CCD摄像机配置一套光源，两个CCD摄像机多角度采集的半导体器件图像信息，通过高速图像采集卡传送到计算机，经处理后得到器件检测需要的各项数据，进行器件的品质的评定。本发明采用软件信号触发控制图像采集、双CCD摄像机和彩色图像处理技术，实现对球栅阵列半导体器件品质的高速、高分辨率无损伤检测，满足在线实时检测的需要。

主权项

1、一种基于双目机器视觉的球栅阵列半导体器件品质检测系统，由光学成像和图像采集两部分组成，其特征在于整个光学成像部分(13)放置在密封箱(12)内，其中被测器件(7)放置在光学显微镜(2)正下方的载物台(5)上，一个环形LED红色光源(3)固定在显微镜(2)物镜的下方，一个彩色CCD摄像机(1)通过摄像接口直接安装在光学显微镜(2)的上方，采集经显微镜放大的半导体器件图像信息，另一个彩色CCD摄像机(8)安装在被测器件(7)一侧的支架(11)上，并通过固定旋钮(9)调节垂直平面内的角度，通过调节旋钮(10)调节上下位置，侧面CCD摄像机(8)的镜头光轴与被测器件(7)平面成30～40度角度，侧面CCD摄像机(8)和被测器件(7)之间距离为被测器件(7)尺寸的20～30倍，与侧面CCD摄像机(8)相对，在被测器件(7)的另一侧上方配置一个环形面阵列红色LED光源(4)，其与被测器件(7)的距离为器件尺寸的5～10倍，光源平面与侧面CCD摄像机(8)的光轴平行，图像采集部分中的图像采集卡(14)通过数字电缆分别和两个CCD摄像机(1、8)相连，将摄像机采集的图像信息传递到计算机(16)。