发明名称 用于电镀操作的阳极以及在半导体基体上形成材料的方法
摘要 本发明包括用于电镀液的阳极。该阳极具有至少99.99%的纯度,并且包括银、金、镍、铬、铜或各种焊料组合物中的一种或多种。例如,该阳极包括以重量计至少99.995%的铜/磷合金,或者至少99.995%的镍和硫。本发明也包括在半导体基体上电镀材料的方法。
申请公布号 CN1582346A 申请公布日期 2005.02.16
申请号 CN01823934.X 申请日期 2001.11.16
申请人 霍尼韦尔国际公司 发明人 T·L·怀特;N·F·迪安;M·W·韦泽;M·R·平特
分类号 C25D7/12;C25D17/10;C25D1/04;C25D5/12 主分类号 C25D7/12
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 王景朝;段晓玲
主权项 1.一种用于电镀液的阳极,其中,该阳极包括晶粒,并且晶粒总数的至少25%彼此具有共同的晶体学组织。
地址 美国新泽西州