发明名称 |
Übertragungsvorrichtung und Übertragungsverfahren für Kalibrierungsdaten eines Halbleiter-Testgeräts |
摘要 |
|
申请公布号 |
DE19514814(B4) |
申请公布日期 |
2005.02.10 |
申请号 |
DE19951014814 |
申请日期 |
1995.04.21 |
申请人 |
ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO |
发明人 |
NEGISHI, TOSHIYUKI |
分类号 |
G01R35/00;G01R31/28;G01R31/317;G01R31/319;(IPC1-7):G01R31/26;G01R15/00 |
主分类号 |
G01R35/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|