| 发明名称 |
DEVICE FOR THE FINE ADJUSTMENT OF PHOTOMASKS WITH RESPECT TO SEMICONDUCTOR ELEMENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US3569718(A) |
申请公布日期 |
1971.03.09 |
| 申请号 |
USD3569718 |
申请日期 |
1967.06.28 |
| 申请人 |
TELEFUNKEN PATENTVERWERTUNGS GMBH. |
发明人 |
MANFRED BORNER |
| 分类号 |
G03F7/20;H01L21/68;(IPC1-7):G01N21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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