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发明名称 Strahlungsempfindliche Zusammensetzung, die ein Polymer mit Schutzgruppen enthält
摘要
申请公布号 DE69631709(T2) 申请公布日期 2005.02.10
申请号 DE19966031709T 申请日期 1996.03.12
申请人 SHIPLEY CO., L.L.C. 发明人 THACKERAY, JAMES W.;ORSULA, GEORGE W.;DENISON, MARK D.;SINTA, ROGER;ABLAZA, SHERI L.
分类号 C08G8/28;C08L61/04;C08L61/14;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/038;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038 主分类号 C08G8/28
代理机构 代理人
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