| 摘要 |
<p>Eine Unterteilungsvorrichtung zum Teilen bzw. Unterteilen eines plattenartigen Werkstücks, welches auf die obere Oberfläche eines Schutzbands gelegt ist, das an einem ringförmigen Rahmen festgelegt ist, und eine reduzierte Festigkeit entlang der Unterteilungslinien aufweist, entlang der Unterteilungslinien, umfassend: DOLLAR A Rahmenhaltemittel zum Halten des ringförmigen Rahmens; DOLLAR A Bandexpansions- bzw. -ausdehnmittel zum Ausdehnen des Schutzbands, das auf dem ringförmigen Rahmen fetgelegt ist, der auf den Rahmenhaltemitteln gehalten ist; DOLLAR A Detektionsmittel zum Detktieren des plattenartigen Werkstücks, das auf das Schutzband gelegt ist; DOLLAR A Unterteilungsmittel zum Drücken der Unterteilungslinien, die durch die Detektionsmittel detektiert sind, über das Schutzband, um das plattenartige Werkstück in Chips entlang der Unterteilungslinien zu unterteilen; DOLLAR A Hinaufdrückmittel, um die unterteilten Chips durch das Schutzband hinaufzudrücken; und DOLLAR A Aufnahmemittel, um die durch die Hinaufdrückmittel nach oben gedrückten Chips aufzunehmen.</p> |
