| 发明名称 |
导光板模仁制造方法 |
| 摘要 |
本发明公开一种导光板模仁制造方法。该导光板模仁制造方法包括在基板涂覆光阻层、采用灰阶光罩对光阻层曝光、显影形成光阻图案和蚀刻基板形成模仁的步骤。本发明由于采用灰阶光罩，一次曝光显影即得到所需光阻图案，可提高采用该制造方法的产品尺寸与形状的精确度，而且简化制造方法、节省工时。 |
| 申请公布号 |
CN1576899A |
申请公布日期 |
2005.02.09 |
| 申请号 |
CN03140030.2 |
申请日期 |
2003.07.29 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
陈杰良;余泰成 |
| 分类号 |
G02B5/02;G03F7/00;G02F1/1335 |
主分类号 |
G02B5/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种导光板模仁制造方法，其包括：在基板表面涂覆光阻层；采用灰阶光罩对光阻层曝光；显影形成光阻图案；蚀刻该基板表面形成模仁。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
