用于打印多层图案的方法及设备

摘要

本发明涉及用于打印多层图案的方法及设备。在一个实施例中，一种用于打印多层图案的方法包括：第一打印操作，包括将第一图案化层沉积在衬底的表面的区域上；第二打印操作，包括将第二图案化层沉积在所述表面的所述区域上或所述第一图案化层上；并且检验所述第二图案化层相对于所述第一图案化层的对准的精确性。所述检验步骤包括：在所述第一打印步骤之后获取所述第一图案化层的第一光学影像；在所述第二打印步骤之后获取所述第二图案华层的第二光学影像；并且通过执行影像消除处理来形成第一消除光学影像，并且将第一消除光学影像与第一影像进行比较，来确定所述第二图案化层的位置。

主权项

一种用于在衬底上打印多层图案的方法，包括：第一打印步骤，包括将第一图案化层沉积在第一衬底的表面的区域上；第二打印步骤，包括将第二图案化层沉积在所述表面的所述区域上或所述第一图案化层上；检验所述第二图案化层相对于所述第一图案化层的对准的精确性，其中所述检验步骤包括：在所述第一打印步骤之后并在所述第二打印步骤之前获取所述第一图案化层的第一光学影像；在所述第二打印步骤之后获取所述第二图案华层的第二光学影像；并且通过执行第一影像消除处理来判定所述第二图案化层在所述第一衬底上的位置，其中，所述第一影像消除处理包括从所述第二光学影像消除所述第一光学影像，以形成第一消除光学影像；并且将所述第一消除光学影像与所述第一光学影像进行比较，其中将通过比较生成的数据用于调整后续打印步骤的特性。