基板清洗装置和基板清洗方法

摘要

提供一种基板清洗装置(方法)，可以不向基板表面的清洗水传送无用的超声波，高效率地进行清洗。从清洗液供给喷嘴(10)在与玻璃基板(W)的运送方向相反方向上供给到玻璃基板表面的清洗液流过玻璃基板(W)的表面，遍及基板全面。另一方面，配置在被运送的玻璃基板(W)下方的超声波振荡喷嘴(14)使超声波在玻璃板(W)上产生振荡时，将超声波传送到供给玻璃基板表面的清洗液，使清洗液振动，均匀高效率地清洗玻璃基板(W)的表面。

主权项

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：基板的运送路径；为了对运送的基板表面供给沿一定方向上流动的清洗水而配置在基板上方的清洗液供给部件；以及为了使供给到基板表面的清洗水产生振动而配置在基板下方的超声波振荡构件。