| 发明名称 | 起偏器、投影透镜系统、曝光装置及曝光方法 | ||
| 摘要 | 透过起偏器(21)的偏振光的振幅方向相对于位置(D)成同心圆状。位置(D)与光瞳面的中心一致地配置起偏器(21)。由起偏器(21)变换成偏振光的照明光的光束，相对于光轴形成同心圆状的偏光面而会聚于晶片上。因此，照明光以S偏振光入射到光刻胶。由此，透过光刻胶的光量不易依赖入射角。从而，提高了在光刻胶中形成的光学像的对比度，并改善了析像特性。 | ||
| 申请公布号 | CN1576908A | 申请公布日期 | 2005.02.09 |
| 申请号 | CN200410062874.6 | 申请日期 | 2004.07.02 |
| 申请人 | 株式会社瑞萨科技 | 发明人 | 山田哲也;上野敦史;冈川崇 |
| 分类号 | G02B5/30 | 主分类号 | G02B5/30 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨凯;叶恺东 |
| 主权项 | 1.一种起偏器，其特征在于：包括在中心周围相邻地配置的偶数个区域；透过所述偶数个区域的各区域的光的振幅方向分布成具有偶数边的正多边形状。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||