微分电容器、差动天线元件和差动谐振器

摘要

在微分电容器1中，第一和第二电容1003和1004以相对于一垂直平面B－B′彼此离基本上对称的位置形成在半导体基底1020上，该微分电容器1还包括插入在半导体基底1020和下电极1016与1018之间的屏蔽板1022。当各下电极1016和1018沿垂直方向被投影到屏蔽葩1022上时，各被投影的下电极1016和1018与屏蔽板1022有部分的重叠。

主权项

1、一种包括多个电容器的微分电容器，每个电容器都有沿垂直方向基本上互相平行的上电极和下电极，其特征在于：多个电容器中的任一个电容器，以离相对于垂直平面的多个电容器中的另一个电容器基本上对称的位置形成在半导底基底上，微分电容器还包括插入在各下电极和半导体基底之间的屏蔽板，以及当各下电极沿垂直方向被投影到屏蔽板上时，各被投影的下电极与屏蔽板具有部分重叠。