光学开关及其制造方法

摘要

在此公开了一种具有MEMS光学开关以及波导管光学开关的优势，即包括耗电量小、易于封装并且转换速度快的光学开关。所述光学开关包括与输入光纤相连的输入波导管，其中光信号通过输入光纤输入，以及包括与多条输出光纤相连的多个输出波导管，其中光信号通过输出光纤输出。在输入波导管和输出波导管之间定位有致动器，且该致动器具有MEMS结构，并包括固定部件以及通过弹簧与固定部件连接以通过预定力来移动的活动部件。此外，多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起，并按照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管，并且使活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的方式，向与活动部件的移动方向相同的方向移动。

主权项

1.一种光学开关，包括：输入波导管，所述输入波导管与输入光纤相连，其中光信号通过所述输入光纤输入；多个输出波导管，所述输出波导管与多条输出光纤相连，其中光信号通过所述多条输出光纤输出；致动器，定位于输入波导管和输出波导管之间，并且具有包括固定部件以及通过弹簧与固定部件相连以便通过预定力移动的活动部件的微电机系统(MEMS)结构；以及多个活动波导管，所述多个活动波导管与致动器的活动部件装配在一起，并且依照使活动波导管的第一末端在位置上对应于输入波导管，并使所述活动波导管的第二末端在位置上对应于输出波导管的这种方式，向与所述活动部件移动方向相同的方向移动。