发明名称 Sensor-Transistor-Element, Sensor-Einheit und Sensor-Array
摘要 Ein Sensor-Transistor-Element enthält ein Substrat und eine auf und/oder in dem Substrat gebildete Gate-Elektrode, an welche ein elektrisches Aktiviersignal zum Aktivieren des Sensor-Transistor-Elements anlegbar ist. Ferner weist das Sensor-Transistor-Element eine Gate-isolierende Schicht auf der Gate-Elektrode und eine erste Source-/Drain-Elektrode und eine zweite Source-/Drain-Elektrode auf. Auf der Gate-isolierenden Schicht und über der Gate-Elektrode ist eine Kanal-Schicht zwischen der ersten Source-/Drain-Elektrode und der zweiten Source-/Drain-Elektrode gebildet, welche Kanal-Schicht aus Fängermolekülen gebildet ist, die derart eingerichtet sind, dass sie mit in einem Analyten möglicherweise enthaltenen zu erfassenden Partikeln hybridisieren und so die Leitfähigkeit im Kanal modifizieren.
申请公布号 DE10331299(A1) 申请公布日期 2005.02.03
申请号 DE2003131299 申请日期 2003.07.10
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 THEWES, ROLAND;BREDERLOW, RALF;PACHA, CHRISTIAN;SCHIENLE, MEINRAD;PAULUS, CHRISTIAN
分类号 G01N27/414;G01N35/00;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;(IPC1-7):G01N27/414;G01N33/487 主分类号 G01N27/414
代理机构 代理人
主权项
地址