发明名称 |
Sensor-Transistor-Element, Sensor-Einheit und Sensor-Array |
摘要 |
Ein Sensor-Transistor-Element enthält ein Substrat und eine auf und/oder in dem Substrat gebildete Gate-Elektrode, an welche ein elektrisches Aktiviersignal zum Aktivieren des Sensor-Transistor-Elements anlegbar ist. Ferner weist das Sensor-Transistor-Element eine Gate-isolierende Schicht auf der Gate-Elektrode und eine erste Source-/Drain-Elektrode und eine zweite Source-/Drain-Elektrode auf. Auf der Gate-isolierenden Schicht und über der Gate-Elektrode ist eine Kanal-Schicht zwischen der ersten Source-/Drain-Elektrode und der zweiten Source-/Drain-Elektrode gebildet, welche Kanal-Schicht aus Fängermolekülen gebildet ist, die derart eingerichtet sind, dass sie mit in einem Analyten möglicherweise enthaltenen zu erfassenden Partikeln hybridisieren und so die Leitfähigkeit im Kanal modifizieren. |
申请公布号 |
DE10331299(A1) |
申请公布日期 |
2005.02.03 |
申请号 |
DE2003131299 |
申请日期 |
2003.07.10 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
THEWES, ROLAND;BREDERLOW, RALF;PACHA, CHRISTIAN;SCHIENLE, MEINRAD;PAULUS, CHRISTIAN |
分类号 |
G01N27/414;G01N35/00;H01L51/00;H01L51/05;H01L51/30;(IPC1-7):G01N27/414;G01N33/487 |
主分类号 |
G01N27/414 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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