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发明名称 NON-CORROSIVE CLEANING COMPOSITIONS FOR REMOVING ETCH RESIDUES
摘要
申请公布号 EP1501916(A1) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 EP20030736483 申请日期 2003.04.24
申请人 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC. 发明人 LEON, VINCENT, G.;ELDERKIN, MICHELLE;FERREIRA, LAWRENCE
分类号 B08B3/08;C11D7/26;C09K13/00;C11D7/28;C11D7/32;C11D7/34;C11D7/50;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/02;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/52 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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