发明名称 METAL GATE ELECTRODE USING SILICIDATION AND METHOD OF FORMATION THEREOF
摘要
申请公布号 EP1502305(A1) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 EP20030724248 申请日期 2003.04.28
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 MASZARA, WITOLD, P.;KRIVOKAPIC, ZORAN
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/423 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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