表面仿形测量装置及其方法、程序和记录介质

摘要

本发明提供一种表面仿形测量装置，该装置具有仿形测头(2)、驱动机构(12)、操纵杆(32)、行进向量指令部(43)、压入向量指令部(51)、仿形向量指令部(44)、及驱动控制电路(45)；其中，仿形测头具有测头传感器(24)，对被测量物表面进行仿形扫描；驱动机构使仿形测头移动；操纵杆由手动操作输入和指示方向和大小；行进向量指令部生成由操纵杆指示的方向和大小的行进向量；压力向量指令部根据测头传感器的检测值生成指令压入方向的移动的压入向量；仿形向量指令部合成行进向量和压入向量，生成仿形向量；驱动控制电路根据仿形向量对驱动机构进行驱动控制。

主权项

1.一种表面仿形测量装置，其特征在于：具有仿形测头、移动单元、操作部、指示向量指令部、相对向量指令部、仿形向量指令部、及驱动控制单元，上述仿形测头具有接近或接触于被测量物表面的测量触头和检测沿被测量物表面的法线方向的上述测量触头与被测量物表面的相对位置的检测传感器，将上述测量触头与上述被测量物表面的相对位置保持在预先设定的基准位置而进行仿形扫描；上述移动单元使上述仿形测头移动；上述操作部具有由手动操作输入指示任意的方向和任意的大小的手动操作构件；上述指示向量指令部在一定的处理约束时间内根据上述输入指示生成具有由上述手动操作构件指示的方向和指示的大小的指示向量；上述相对向量指令部根据上述检测传感器的检测值按上述测量触头与上述被测量物表面的相对位置相对上述基准位置具有的偏移量的大小自动生成在上述被测量物表面的法线方向具有方向的相对向量；上述仿形向量指令部合成上述指示向量和上述相对向量而生成仿形向量；上述驱动控制单元根据上述仿形向量对上述移动单元进行驱动控制。