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发明名称 METHOD OF GENERATING EXTREME ULTRAVIOLET RADIATION
摘要
申请公布号 EP1502485(A1) 申请公布日期 2005.02.02
申请号 EP20030712605 申请日期 2003.04.22
申请人 PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 DERRA, GUENTHER HANS;NIEMANN, ULRICH
分类号 H05H1/24;H01L21/027;H05G2/00;(IPC1-7):H05G2/00 主分类号 H05H1/24
代理机构 代理人
主权项
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