压力感应器及压力控制装置以及压力式流量控制装置的自动零点修正装置

摘要

本发明之课题是在于提供可自动修正压力感应器的时间变化零点漂移，不管其使用期间均可正确地检测压力之压力感应器、与使用感应器之压力控制装置及流量控制装置。用以解决课题之手段为：针对测定流体压力的使用了半导体感压元件之压力感应器，将来自于压力感应器的感应器通过增幅器输出电压输出至外部，并且将前述感应器输出电压通过D／A变换器，输入至压力感应器的时间变化零点漂移修正手段，在该时间变化零点漂移修正手段的感应器输出判定手段，判定前述感应器输出电压是否较设定值大，且在前述时间变化零点漂移修正手段的作动条件判定手段，判定压力感应器的作动条件，当前述压力感应器输出电压较设定值大且压力感应器的作用条件处于预先所设定的作动条件下时，通过D／A变换器来将与前述感应器输出电压为相同电压且具有逆极性之零点修正用电压输入至前述增幅器的补偿端子，除去压力感应器的时间变化零点偏移。