| 摘要 |
使基板(10)依序通过药液处理部(40)、水洗部(50)等，在进行蚀刻处理等之搬送式基板处理装置中，其目的在于防止组装至水洗部(50)之喷泡处理部(50)中之污点的产生，同时防止基板(10)之乾燥。为了实现该种目的，系将雾气飞散防止用之遮蔽板设在用以进行喷泡处理之二流体喷嘴列(56)之上游侧以及下游侧。在多数之遮蔽板中至少于最下游侧之遮蔽板的下游侧上，系设有将洗净水供给至基板(10)之表面的供水装置(58)。设有隔墙(52)，系将喷泡处理部(54)由后续之处理部(55)隔离。而在前述隔墙(52)之下游侧上，系设有将洗净水供给至基板(10)之表面的供水装置(58)。 |
