发明名称 METHOD FOR FORMING BITLINE OF SEMICONDUCTOR DEVICE TO CONTROL INCOMPLETE FILLING OF CONTACT AND GENERATION OF VOID IN CONTACT
摘要
申请公布号 KR100470944(B1) 申请公布日期 2005.01.31
申请号 KR19970081127 申请日期 1997.12.31
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 NOH, JAE SEON;LEE, JEONG RAE
分类号 H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/10 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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