| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SPECTRALLY SEPARATING LINES OF A LIGHT BEAM, IN PARTICULAR OF A LASER LIGHT BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003255448(A1) |
申请公布日期 |
2005.01.28 |
| 申请号 |
AU20030255448 |
申请日期 |
2003.08.16 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
NILS DIECKMANN;DAMIAN FIOLKA |
| 分类号 |
G02B6/34;G02B27/14;G02B27/28;(IPC1-7):G02B27/28 |
主分类号 |
G02B6/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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