| 发明名称 |
SELF-ALIGNED FLOATING GATE FOR MEMORY APPLICATION USING SHALLOW TRENCH ISOLATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG108216(A1) |
申请公布日期 |
2005.01.28 |
| 申请号 |
SG19990006399 |
申请日期 |
1999.12.17 |
| 申请人 |
CHARTERED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING LTD |
发明人 |
YELEHANKA RAMACHANDRAMURTHY PRADEEP;VIJAY KUMAR CHHAGAN;JIE YU;ZHOU MEI SHENG |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/8247;(IPC1-7):C23C16/455;C23C16/46;C23C16/503 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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