发明名称 Verfahren zur Diffundierung von Aluminium
摘要
申请公布号 DE2131144(A1) 申请公布日期 1972.02.10
申请号 DE19712131144 申请日期 1971.06.23
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 LEE ELGAN,DOUGLAS;GUY HAYS,ROBERT
分类号 H01L21/033;H01L21/225;H01L21/316 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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