发明名称 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法
摘要 一种薄膜晶体管阵列基板,是由一基板、复数个扫描配线、复数个数据配线、复数个薄膜晶体管、一蚀刻阻障层以及复数个像素电极所构成。其中,扫描配线与数据配线配置于基板上,以将基板区分为复数个像素区域。每一个薄膜晶体管配置于对应的像素区域内,并通过对应的扫描配线与数据配线驱动。蚀刻阻障层配置扫描配线或共享配线上方,且蚀刻阻障层具有复数个开口。每一个像素电极配置于对应的像素区域内,以与对应的薄膜晶体管电性连接,其中每一个像素电极的部分区域通过其中一个开口而分别与对应的扫描配线耦合为一储存电容。另外,本发明亦提供一种上述薄膜晶体管阵列基板的制造方法。
申请公布号 CN1570741A 申请公布日期 2005.01.26
申请号 CN200410038226.7 申请日期 2004.05.13
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 来汉中
分类号 G02F1/136;H01L29/786;H01L21/027 主分类号 G02F1/136
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王学强
主权项 1.一种薄膜晶体管阵列基板,其特征是,包括:一基板;复数个扫描配线,配置于该基板上;复数个数据配线,配置于该基板上,其中该些扫描配线与该些数据配线将该基板区分为复数个像素区域;复数个薄膜晶体管,每一该些薄膜晶体管配置于该些像素区域其中之一内,其中该些薄膜晶体管通过该些扫描配线以及该些数据配线驱动;一蚀刻阻障层,该蚀刻阻障层配置该些扫描配线上方,其中该蚀刻阻障层具有复数个该开口;以及复数个像素电极,每一该些像素电极配置于该些像素区域其中之一内,以与对应的该些薄膜晶体管其中之一电性连接,其中每一该些像素电极的部分区域通过该些开口其中之一而分别与该些扫描配线其中之一耦合为一储存电容。
地址 台湾省新竹科学工业园区新竹市力行二路一号