双折射测量系统的精度校准

摘要

提供采用Soleil－Babinet补偿器(101)作为校准双折射测量系统的标准的系统和方法。通过这里描述的方法可以实现高精度和可重复的校准，因为除了其它优点外，该具有创造性的方法可以计算Soleil－Babinet补偿器(101)整个表面的不同双折射。这里描述的校准技术可以用于具有测量双折射水平范围的各种光学装置和各种频率的光源的双折射测量系统中。

主权项

1、一种校准双折射测量系统的方法，所述双折射测量系统包括限定穿过偏振器的光束路径的光学装置，在偏振器之间存在至少一个偏振调制器，该偏振调制器具有定义参考角度的光轴，该方法包括以下步骤：将具有表面孔径和光轴以及选择器的Soleil-Babinet补偿器定位在偏振器之间，其中该选择器用于选择由Soleil-Babinet补偿器导致的延迟水平；将Soleil-Babinet补偿器的光轴与参考角度对准，同时调节光束的偏振；用交叉的偏振器校准Soleil-Babinet补偿器在孔径表面的第一位置上的延迟；用校准的Soleil-Babinet补偿器的选择器选择延迟水平；用双折射测量系统测量Soleil-Babinet补偿器在第一位置的延迟水平；以及比较选择的延迟水平和测量的延迟水平以确定差异。