发明名称 Epitaxialer Wachstumsprozess
摘要
申请公布号 DE1444496(A1) 申请公布日期 1968.10.31
申请号 DE19621444496 申请日期 1962.12.10
申请人 FAIRCHILD CAMERA & INSTRUMENT CORP. 发明人 P. HALE,ARTHUR;D. JAMES,BRIAN
分类号 B01J2/30;C22C21/02;C30B23/04;H01L21/00;H01L23/29 主分类号 B01J2/30
代理机构 代理人
主权项
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