发明名称 | 防止液体回溅的装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种防止一液体回溅至一物体上的装置,尤其是涉及一种应用于显影制作工艺的防止回溅装置,其至少包括:一旋转器,其上放置上述的物体,利用旋转器的旋转运动,使物体与液体分离;一侧壁,其环绕于旋转器的周围,以防止液体飞溅至侧壁之外;以及一缓冲棉,其贴于侧壁的内侧,以防止液体由侧壁回溅至物体上。 | ||
申请公布号 | CN1567093A | 申请公布日期 | 2005.01.19 |
申请号 | CN03148461.1 | 申请日期 | 2003.06.30 |
申请人 | 友达光电股份有限公司 | 发明人 | 曾士庭;钟昱正;郭丁瑞 |
分类号 | G03F7/26;G03F7/30;H01L21/027 | 主分类号 | G03F7/26 |
代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 陈小雯;李晓舒 |
主权项 | 1.一种防止一液体回溅至一物体上的装置,该液体原本位于该物体内,该装置至少包括:一旋转器,其上放置该物体,并利用该旋转器的旋转运动,使该物体与该液体分离;一侧壁,其环绕于该旋转器的周围,以防止该液体飞溅至该侧壁之外;以及一缓冲棉,其贴于该侧壁的内侧,以防止该液体由该侧壁回溅至该物体上。 | ||
地址 | 台湾省新竹市 |