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发明名称 PLANETARY SYSTEM WORKPIECE SUPPORT AND METHOD FOR SURFACE TREATMENT OF WORKPIECES
摘要
申请公布号 EP1153155(B1) 申请公布日期 2005.01.19
申请号 EP19990957242 申请日期 1999.12.15
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ZAECH, MARTIN;KUNZ, ANTON
分类号 C23C14/50;C23C16/44;(IPC1-7):C23C14/50;F16H1/00 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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