微镜检测方法及其检测装置

摘要

一种微镜检测方法，包括下述步骤，先将微镜元件设于承座之微镜承靠面。再利用光源朝向微镜元件射出光束。光束从微镜元件反射至靶面，并在该靶面上投射出一第二光点。量测该第二光点相对于基准点的距离X，并藉此计算微镜元件于承座上的倾斜度。