用于带状射束的离子植入器之高质量解析度磁铁

摘要

一种用于带状离子束的质量分析器被揭示。该质量分析器系包括一对线圈，其系定义该分析器入口端及出口端。在该质量分析器的一或多个出入口端或其附近使用场夹钳。该些场夹钳系运作以终止靠近该质量分析器出入口端的边缘场，藉以降低这类边缘场对该带状射束的影响并改善射束的均匀度。