| 发明名称 | 气浮XY两坐标平面运动平台 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种气浮XY两坐标平面运动平台，由两个垂直放置的直线电机、三个可作相对运动的平台、两组限位光耦和原点光耦、两组光栅尺组成，工作平台，中间平台，下平台叠放并与基座相连，平台之间用气浮导轨连接起来，下平台与中间平台之间沿X方向相对运动，工作平台与中间平台之间沿Y方向相对运动，工作平台与直线电机用气浮导轨相连接。本发明通过气浮导轨将叠放的XY运动平台相连接，XY方向由两个直线电机分别驱动，系统的电机定子都固定在机座上，显著减少系统的运动惯量，相对运动的部件用气浮导轨相连，系统无摩擦。本发明适合于作为高速、高加速度、高精度定位的XY两坐标平面运动平台。 | ||
| 申请公布号 | CN1564317A | 申请公布日期 | 2005.01.12 |
| 申请号 | CN200410017014.0 | 申请日期 | 2004.03.18 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 丁汉;李运堂 |
| 分类号 | H01L21/68 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 毛翠莹 |
| 主权项 | 1、一种气浮XY两坐标平面运动平台，其特征在于由两个垂直放置的直线电机、三个可作相对运动的平台、两组限位光耦和原点光耦、两组光栅尺组成，下平台(2)固定在基座(1)上，第一组气浮导轨(3)分别与下平台(2)和 中间平台(4)相连接，第二组气浮导轨(5)分别与中间平台(4)和工作平台(7)相连接，Y方向直线电机动子(10)与Y方向驱动连杆(9)相连接，Y方向直线电机定子(11)及X方向直线电机定子(13)固定在基座(1)上，Y方向驱动连接气浮导轨(8)分别与工作平台(7)和Y方向驱动连杆(9)相连接，X方向驱动连杆(17)与中间平台(4)相连接，X方向直线电机动子(18)与X方向驱动连杆(17)相连接，下平台(2)上分别固定X方向光栅尺(14)、X方向限位光耦(21)和原点光耦(23)，中间平台(4)上分别固定Y方向光栅尺(6)，Y方向限位光耦(25)和Y方向原点光耦(27)，X方向光栅尺(14)测量中间平台(4)相对于下平台(2)的位移，Y方向光栅尺(6)测量工作平台(7)相对于中间平台(4)的位移。 | ||
| 地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 | ||