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发明名称 Laser light source device and surface inspection apparatus employing the same
摘要
申请公布号 EP1403984(A3) 申请公布日期 2005.01.12
申请号 EP20030090310 申请日期 2003.09.23
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOPCON 发明人 IWA, YOICHIRO;SEKINE, AKIHIKO;MIYAKAWA, KAZUHIRO;ISOZAKI, HISASHI
分类号 G01N21/84;G01N21/47;G01N21/95;G01N21/956;G02B6/28;G02B6/32;G02B6/42;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/00;G02B27/10;G02B27/16;H01S5/40 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
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